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5月16日光刻机（胶）板块较上一交易日上涨0.42%，苏大维格领涨。当日上证指数报收于3290.99，下跌0.6%。深证成指报收于11099.26，下跌0.71%。光刻机（胶）板块个股涨跌见下表：

从资金流向上来看，当日光刻机（胶）板块主力资金净流入2.51亿元，游资资金净流出1.12亿元，散户资金净流出1.39亿元。光刻机（胶）板块个股资金流向见下表：

北向资金方面，当日光刻机（胶）板块北向资金持股市值为66.28亿元，减持2.2亿元。其中增持最多的是张江高科，增持了0.12亿元。减持持最多的是芯源微，减持了0.98亿元。光刻机（胶）板块北向资金持股变动明细见下表：